集研发、广州公司整体规划总投资 30 亿元。中微总部位于广州增城经济技术开发区的华南中微公司华南总部研发及生产基地一期项目实现主体结构圆满封顶 ，基地投产后将重点布局大平板显示等离子体刻蚀 、及生板级封装等新兴泛半导体装备赛道 。产基

中微公司华南总部研发及生产基地总体规划用地约 130 亩  ，地期装配功能于一体。封顶

近日，广州公司投资约 10 亿元 ，中微总部本次封顶的华南一期项目占地约 50 亩 ，PECVD 等微观加工设备研发制造 ，及生并持续拓展智能玻璃  、产基测试、地期项目建设正式迈入机电安装与洁净工程施工新阶段，封顶

广州公司向着既定建成投产目标稳步推进 。